1.范围
本文件规定了使用X射线衍射仪和扫描电子显微镜对微晶玻璃物相和微观形貌的测试方法。本文件适用于微晶玻璃。
2.测试原理
本测试方法测试原理分为物相分析原理及微观形貌分析原理两部分。物相分析是根据待分析微晶玻璃样品的X射线衍射图谱(峰位、强度、元素组成等)检索匹配与粉末衍射数据库进行对比分析确定其物相组成;微观形貌分析原理是利用扫描电子显微镜经聚焦的、具有一定能量的电子束在微晶玻璃样品表面扫描,从样品表面激发出二次电子,将二次电子收集处理后可获得样品表面形貌的扫描图像,即可观察到样品的微观形貌。
3.仪器试剂
本文件规定了微晶玻璃物相和微观形貌测试方法所用的主要仪器及试剂,如经过检定或校准的多晶X射线衍射仪(带微机、铜靶、狭缝、滤波片、样品台等),经检定或校准的扫描电子显微镜(二次电子图像分辨率优于20nm,放大倍数至少包含300~30 000倍),溅射机、抛光机、玛瑙研钵、纳米抛光液、镊子、洗耳球、导电胶带等制样设备、无水乙醇或丙酮等清洗试剂等。
4.物相分析
明确出用X射线衍射法测定微晶玻璃物相的步骤:
a)将微晶玻璃待测样品破碎研磨至200目以下;
b)将待测微晶玻璃样品粉末置于样品载片的凹槽中,使样品被测量面保持粗糙,与样品载片的表面保持平整均匀,避免微晶玻璃粉末择优取向;
c)测量样品,获得X射线衍射谱图,根据X射线衍射谱图读取相关数据,再与晶体的标准X射线衍射数据对比确定微晶玻璃中物相种类。
5.微观形貌测试
明确出用扫描电镜法测定微晶玻璃物相的步骤:
a) 取适量待测微晶玻璃样品,在抛光机上用纳米研磨液进行抛光,抛光时间不低于10分钟,抛光结束后,依次用清水及酒精对抛光面进行冲洗,晾干;
b) 使用合适浓度的HF溶液对微晶玻璃抛光面进行腐蚀;
c) 将腐蚀好的微晶玻璃试样固定在扫描电镜专用样品台上,放入扫描电镜中进行观察;
在试样上选定合适区域,分析测试视场内微晶玻璃微观形貌特点,测试并记录微晶玻璃晶相微观形貌特征、晶粒尺寸等。