《战略性新兴产业分类(2018)》(国家统计局令第23号)中3.2.9.1高纯金属制造3216*明确提及“电子信息用高纯铝(纯度>99.99%)”。
高纯铝主要通过电解精炼和偏析熔炼方式生产,呈银白色,表面光洁,具有清晰结晶纹,不含有夹杂物。高纯铝具有较高的延展性、电导率及塑性等性能,主要被应用于电子工业、化学工业及制造高纯合金、光学材料及一些其他特殊用途。MBE用高纯铝源的纯度为6N5及以上的高纯铝材料,是通过偏析和化学方法合并提纯,在6N高纯铝锭的基础上近一步将杂质提纯析出,并进行挤压、锯切、抛光、清洗、包装等工序,制成符合能直接进入MBE设备使用的高纯铝源,主要有棒状、颗粒、圆片等形状。本材料主要应用在半导体行业的分子束外延(MBE)领域。分子束外延是一种原子级的晶体生长技术,它能在衬底材料上生长出极薄的(可薄至单原子层水平)单晶体和几种物质交替的超晶格结构,主要应用在包括激光器、光电探测器、光纤传感器、电荷耦合器件(CCD)摄像系统和平板显示系统等。
据统计,目前国内外对6N5高纯铝的需求日益增长,现阶段国内使用的6N5高纯铝材料主要依靠进口,国际上能够生产6N5高纯铝的公司主要集中在欧美及日本。南通泰德电子材料科技有限公司花费10年时间研发生产出6N5及以上高纯铝,经过昆明物理所、武汉拓材、中科院物理所等多家企业使用,并经过国内外知名检测中心EAG、博飞克等第三方检测机构检测,完全达到甚至超过国外产品的纯度,可以替代进口材料,让国内军工和高端企业摆脱进口可能带来的限制和不确定性,产品应用已填补了国内空白,打破了国外对中国6N5高纯铝的垄断,为我国MBE技术的发展提供了可靠的高纯铝材料,提高了我国铝提纯技术在国际上的地位。
目前国内针对半导体MBE上使用的高纯铝源尚无相应的产品标准,制定此标准,是为了规范MBE用高纯铝源的产品,为国内制造和使用企业制定一个质量标准,为减少产品使用过程中出现问题及后续的判定索赔等提供依据。综上,特申请关于MBE用高纯铝源的行业标准,此标准的制定将会使我们国家的MBE用高纯铝源有一个规范标准,同时也是MBE用高纯铝源贸易、仲裁及质量监督检查的依据。