传感器与通信技术、芯片、操作系统等被称为现代信息技术和物联网的四大核心技术。受物联网、5G、人工智能等技术的推动，传感器向着智能化、网络化、集成化的方向加速发展。目前，中国已经形成了较为完整的传感器产业链。

全球物联网市场规模正呈现快速增长的趋势，中国市场增速明显高于全球。中国物联网市场规模在2017年首次突破万亿元，成为全球最活跃的物联网应用市场。2019年，全球物联网市场规模超6万亿元，增速为19.9%;当年中国市场规模已超1.7万亿元，增速达21.7%。

报告显示，在物联网快速发展的大背景下，2019年中国传感器市场依然保持增长，整体市场规模达到2188.8亿元，同比增长12.7%。未来随着工业互联网、智能制造、人工智能等战略的实施，加上各级政府将加速推动智慧城市建设、智能制造、智慧医疗发展，将为传感器市场及企业带来更好的发展机遇，企业也正逐步向创新化、智能化、规模化的方向快速发展。预计2021年市场规模将达2951.8亿元，增速达17.6%。

近年来，我国不断提高对传感器产业的重视，各地也在积极建设国际性传感器。我国于2012~2020年迎来传感器技术和产业快速发展期。中国传感器市场规模在2019年已超2000亿元;预计2021年将达近3000亿元。随着传感器行业的不断发展壮大，钒及钒合金靶材成为靶材制备研究的热点之一，也越来越成为传感器行业关注的焦点。

目前国产钒及钒合金靶材的生产仍处于建立在企业标准阶段，行业内还没有建立相应的国家及行业标准，很大程度上制约了国产钒及钒合金靶材的研发、制作及工业化生产。因此，亟需要制定行业的标准，形成钒及钒合金靶材产业的统一的规范标准，以促进钒及钒合金靶材产品的高质量发展，扩大国产钒及钒合金靶材市场占有率。

钒是一种银灰色的金属。钒的密度为6 .11g/cm3，熔点1919±2℃，属于高熔点稀有金属之列。纯钒具有良好的可塑性，在常温下可轧成片、箔和拉成丝。

本标准将制定钒及钒合金靶材，规定了靶材材料配比、纯度、密度、内部组织结构、焊接质量、靶材形状与尺寸、表面粗糙度及靶材清洗与包装等要求，主要适用于在集成电路、背板金属化、光电子、传感器等行业中用来作阻挡层的钒及钒合金靶材，来防止金导电层和镍粘结层之间的扩散。

1. 所述钒及钒合金靶材为一体型或者焊接型；

2. 所述的钒靶材的纯度要求是≥99.95%；钒合金靶材为V-1%W、V-5%W、V-9%W，钒合金靶材纯度≥99.7%；

3. 所述的钒合金靶材相对密度≥99%；

4. 所述的钒及钒合金靶材的平均晶粒大小要求为≤100um，或按照需方要求；

5. 所述的钒及钒合金靶材内部不应有分层、夹杂、疏松和气孔等缺陷；

6. 所述的钒及钒合金靶材焊接结合率≥95%，单个缺陷率≤2.5%；

7. 所述的钒及钒合金靶材面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时Ra值应不大于1.6μm；

8. 所述的钒及钒合金靶材表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。

近年来全球传感器市场一直保持高速增长，2019年市场规模近2265亿美元。2019年全球MEMS市场规模达169.6亿美元，CIS市场规模近170亿美元。2019年索尼继续保持着在CMOS图像传感器领域的领先地位，市场份额达49.2%，三星、豪威紧随其后。近年来，我国不断提高对传感器产业的重视，各地也在积极建设国际性传感器。我国于2012~2020年迎来传感器技术和产业快速发展期。中国传感器市场规模在2019年已超2000亿元；预计2021年将达近3000亿元。随着传感器行业的不断发展壮大，钒及钒合金靶材成为靶材制备研究的热点之一，也越来越成为传感器行业关注的焦点。

宁波江丰电子材料股份有限公司成立于2005年，是余姚市政府引进、由国家“千人计划”专家姚力军博士领导的海外高层次归国留学人员组成的创业团队所创立的一家高科技企业，专业从事集成电路、平板显示器和太阳能用超高纯材料及溅射靶材研发、生产和销售，2018年就开始制备钒及钒合金靶材，产品已出货武汉高芯、上海陛通、烟台睿创等客户端，部分客户端已成功实现量产。

    经查，国内外无钒及钒合金靶材的相关标准。