TFT-LED(液晶显示器)行业平板显示(FPD)是信息社会的支柱产业之一。以京东方集团、华星光电、惠科集团为龙头的企业在国内TFT-LCD面板厂产销量居全球前列。其中液晶显示器(LED)市场约占整个平板显示市场份额的80%以上,居于绝对优势地位。随着中国居民消费水平的提升,消费者对智能手机、笔记本电脑、电视等智能硬件产品的需求扩大,具有高解析度以及驱动频率高速化的OLED以及柔性屏相关产品逐渐取代普通LCD显示,成为行业发展必然趋势,同时对溅射镀膜材料的性能提出了更高的要求。因此,具有低电阻率及良好电子迁移率的IGZO靶材被越来越多的应用到高端TFT显示及OLED上。
氧化铟镓锌靶材(简称IGZO),这是一种用来生产透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管沟道层半导体材料。IGZO(InGaZnOx),由In2O3、Ga2O3和ZnO构成,禁带宽度在3.5eV左右,是一种N型半导体材料。In2O3中的In3+可以形成半导体的电子轨道,有利于电子的高速输运;Ga2O3有很强的离子键,可以抑制氧缺位的产生;ZnO中的Zn2+可以形成稳定的四面体结构,可以使金属氧化物IGZO形成稳定的非晶结构。因此,金属氧化物IGZO适用于制备高迁移率的TFT基板。同时OLED上LTPS制程中四周的a-Si层用IGZO替代,可以节省用电量,提升续电功能,大量用于手机显示屏及可穿戴手表上。该产品的最大特点是非晶状态下依然具有较高的电子迁移率,能够适用于大尺寸、超高清、柔性及低功耗显示面板的发展趋势。
目前国内的高端IGZO靶材多从国外进口,而且高端产品的价格一直居高不下。高精尖的材料制造工艺一直掌握在日本、韩国企业手上,整个行业呈现出寡头垄断的格局,近年来映日科技以创新为驱动力,突破产品制备关键技术,产品批量性供货给显示面版企业。
由于目前TFT-LCD用IGZO靶材行业话语权一直掌握国外企业手中,国内企业针对IGZO靶材没有明确的行业标准,不利于IGZO靶材的生产、应用、销售、仲裁等问题。所以制定TFT-LCD用IGZO靶材行业标准,对于该行业的发展稳定,具有重大意义。