行业标准项目建议书
建议项目名称
(中文)
氧化铟镓锌靶材
建议项目名称
(英文)
IGZO target
制定或修订
■制定 □修订
被修订标准号
采用程度
□IDT □MOD □NEQ
采标号
国际标准名称
(中文)
国际标准名称
(英文)
采用快速程序
□FTP
快速程序代码
□B □C
ICS分类号
77.150.99
中国标准分类号
H62
牵头单位
芜湖映日科技股份有限公司
体系编号
23032
参与单位
中山智隆新材料科技有限公司
完成周期(月)
24
目的、意义
或必要性

   

TFTLED(液晶显示器)行业平板显示(FPD)是信息社会的支柱产业之一。以京东方集团、华星光电、惠科集团为龙头的企业在国内TFT-LCD面板厂产销量居全球前列。其中液晶显示器(LED)市场约占整个平板显示市场份额的80%以上,居于绝对优势地位。随着中国居民消费水平的提升,消费者对智能手机、笔记本电脑、电视等智能硬件产品的需求扩大,具有高解析度以及驱动频率高速化的OLED以及柔性屏相关产品逐渐取代普通LCD显示,成为行业发展必然趋势,同时对溅射镀膜材料的性能提出了更高的要求。因此,具有低电阻率及良好电子迁移率的IGZO靶材被越来越多的应用到高端TFT显示及OLED上。

氧化铟镓锌靶材(简称IGZO),这是一种用来生产透明非晶态氧化物半导体薄膜晶体管沟道层半导体材料。IGZOInGaZnOx),由In2O3Ga2O3ZnO构成,禁带宽度在3.5eV左右,是一种N型半导体材料。In2O3中的In3+可以形成半导体的电子轨道,有利于电子的高速输运;Ga2O3有很强的离子键,可以抑制氧缺位的产生;ZnO中的Zn2+可以形成稳定的四面体结构,可以使金属氧化物IGZO形成稳定的非晶结构。因此,金属氧化物IGZO适用于制备高迁移率的TFT基板。同时OLEDLTPS制程中四周的a-Si层用IGZO替代,可以节省用电量,提升续电功能,大量用于手机显示屏及可穿戴手表上。该产品的最大特点是非晶状态下依然具有较高的电子迁移率,能够适用于大尺寸、超高清、柔性及低功耗显示面板的发展趋势。

目前国内的高端IGZO靶材多从国外进口,而且高端产品的价格一直居高不下。高精尖的材料制造工艺一直掌握在日本、韩国企业手上,整个行业呈现出寡头垄断的格局,近年来映日科技以创新为驱动力,突破产品制备关键技术,产品批量性供货给显示面版企业。

    由于目前TFT-LCDIGZO靶材行业话语权一直掌握国外企业手中,国内企业针对IGZO靶材没有明确的行业标准,不利于IGZO靶材的生产、应用、销售、仲裁等问题。所以制定TFT-LCDIGZO靶材行业标准,对于该行业的发展稳定,具有重大意义。


范围和主要
技术内容

适用范围:高性能膜材料,应用于电子及信息产业,如集成电路、显示面板、信息存储等行业;

分析范围:密度、纯度、成份配比、晶粒尺寸等内容;

采用制粉、成型、烧结、机加工、绑定工序,具体指标如下:

序号

特性

项目名称

指标要求

1

物理特性

铟:镓:锌(at%)比例

0.050.050.05

2

相对密度(%

≥99%

3

晶粒度(µm

20um

4

电阻率(ΩNaN

0.5~4*10-2

5

 

化学特性

 

纯度%

99.99

6

ppm

Fe

10

7

Al

20

8

Cu

10

9

Pb

20

10

Ni

10

11

Cr

10

12

杂质总合

100

注:杂质总合为包含且不限于表中所列杂质元素实测值之和


国内外情况
简要说明

1、国内外产业情况(市场、进出口、需求及未来发展展望等)及申报单位情况;

目前京东方集团已建超过10条的TFT-LCD生产线;华星光电集团有7条线;天马集团、惠科集团等国内各世代线已有70多条。各产线均有研产高端IGZO显示产品,其中京东方B18B19两条产线IGZO靶材用量最大,每年的市场规模超过50吨,随着产品及市场技术突破,产能扩大,预计未来几年将会有超过30%的增长。

目前国内IGZO靶材还处于起步阶段,一些高等院所及企业也陆续展开了产品及技术的研究,取得了一定的研究成果,并发表了相关论文和撰写知识产权,目前我国已经具备了供应G8.5IGZO的能力并在LGD等客户端成功验证。行业内,同时也在IGZO产品基础上做更加深入的配方、产品性能与薄膜性能等研究,以提高产品电子迁移率问题。

虽然显示面板针对IGZO的应用已经成熟,但国内还没有统一的IGZO靶材行业标准,因此制作IGZO行业标准,规范产品,稳定产品性能,产品全面进行进口替代具有重大意义。

2、国内外标准情况;

国内暂时没有与TFT-LCD行业用IGZO的相关标准


备注
集成电路上游-材料 
牵头单位
(签字、盖公章)
月 日
标准化技术组织
(签字、盖公章)
月 日
部委托机构
(签字、盖公章)
月 日
[注1] 填写制定或修订项目中,若选择修订必须填写被修订标准号;
[注2] 选择采用国际标准,必须填写采标号及采用程度;
[注3] 选择采用快速程序,必须填写快速程序代码;
[注4] 体系编号是指在各行业(领域)技术标准体系建设方案中的体系编号。
文件说明
6.氧化铟镓锌靶材-建议书 (51KB)任务书(建议书)