钼合金靶材具有高熔点、高电导率、较低的比阻抗、较好的耐腐蚀性以及良好的环保性能，使得其在电子行业的应用越来越广泛，尤其是电子及信息产业、平面显示和太阳能电池等高技术产业的迅猛发展，对钼合金的需求量越来越大。如平面显示器尺寸大型化以及4K以上高清显示器的发展使得G6以上高世代线液晶面板生产线开始用大规格的钼铌、钼镍、钼钛等靶材来替代纯钼靶材以解决制程中的刻蚀等问题。

国内钼行业在钼合金的研发、批量生产的基础上，对钼合金靶材进行了系统的研究，制备钼合金板状靶材和管状靶材，产品组织均匀、性能优异、质量稳定且具备稳定批量生产的能力。目前完全掌握了钼合金靶材生产的关键技术，并形成钼合金靶材相关发明专利十余项。

然而，目前国内市场上各企业的生产工艺不同，合金含量、纯度、性能等差异显著，造成客户选用钼合金靶材产品时无法预判产品的使用性能，致使产品质量参差不齐。因此制订统一规范的钼合金靶材行业标准不仅可以达到对其生产、使用、贮存和运输进行规范的目的，而且可使下游客户的需求更加明确清晰。因此制订规范的钼合金靶材标准对其生产、使用、贮存和运输具有重要的行业指导意义。

范围：本标准规定了钼合金靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、贮存和运输、质量证明书及订货单（或合同）内容。

本标准适用于以钼合金为原料粉末冶金法制备的钼合金坯料，主要用于电子及信息产业、平面显示和太阳能电池等高技术产业领域。

主要技术内容：

（1）产品按照钼合金靶材的种类分为MoNa、MoNb、MoNi、MoTa、MoTi 五种。

（2）产品规格及允许偏差应符合表1规定。

（3）产品相对密度应大于99%。需方有特殊要求时，供需双方协商确定。

（4）晶粒尺寸

平均晶粒尺寸≤100µm。

（5）表面质量

产品溅射表面粗糙度应不大于Ra1.6μm，产品绑定面粗糙度应不大于Ra3.2μm。 当需方对产品的表面粗糙度有要求时，应在合同中注明。

（6）焊接质量

 贴合率不低于98%，单个未焊接面积不超过总面积1%。

国内外钼合金靶材制备专利查询：

查询国内外专利信息，可知钼合金靶材制备专利，不仅有钼合金靶材的原料粉末的脱氧处理，且大部分的专利都是有关钼合金靶材的制备工艺、制备方法；同时也有关于钼合金靶材制备模具、装置等配件。国内文献也重点在于钼合金低氧处理工艺，钼合金靶材溅射性能的研究。

国外钼合金生产厂家有：奥地利Plansee、日本Ulvac等，并形成批量供货。国内有金堆城钼业股份有限公司、洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司等企业具备生产钼合金靶材能力。以钼铌合金靶材为例，国内熊猫电子已开始使用钼铌靶材，京东方也开始在高世代线布局钼铌靶材。

经国际标准查询发现，钼合金靶材尚未形成规范的国际、国家或行业标准。

综上所述，钼合金靶材制备相关专利主要集中在以金堆城钼业股份有限公司为主的少数几家单位，目前该产品的生产可实现稳定可控。因此，本标准不会与其他国内外标准形成技术冲突和知识产权纠纷。

本标准旨在形成钼合金靶材的行业推荐性标准。在标准起草阶段，将广泛征询钼合金靶材生产企业的技术现状和国内外客户的需求，并充分考虑国内外设备使用过程对靶材外形尺寸等相关国标、行标的对应性。因此，本标准拟作为钼合金靶材的主体产品标准。